熱式氣體質量流量計是采用熱傳導原理：直接測量氣體的質量，不需要溫度、壓力補償，是一種的氣體流量測量儀表，它代表了氣體流量測量的發展趨勢。
熱式氣體質量流量計傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，采用橋式環路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器為加熱元件，維持高于流體溫度的恒溫差，即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流量。
熱式氣體質量流量廣泛應用于電力、石油天然氣、環保、冶金、造紙、醫藥等行業單一氣體和固體比例多組份氣體的流量測量。
二、主要特點
1、直接測量質量流量，無需溫度和壓力補償，測量方便、準確、可得到氣體的質量流量或標準體積流量。
2、可測量范圍寬，流速高至0.1～100Nm3/s均可準確測量，尤其適合大口徑測量。
3、安裝簡單、施工量小，插入式尤為簡單。
4、自帶球閥，對于一些介質可實現在線安裝，校正維修方便。
5、智能型流量積算儀，數字化設計，可查詢十年內測量數據，帶輸出、通訊功能。
三、技術指標
測量介質：各種氣體（乙炔氣除外）
管徑范圍：DN10～600mm
流速范圍：0.1～100Nm3/s
準確度：±0.5%，±1%
介質溫度：-40～350℃
工作壓力：<4MPa，耐高壓型<20MPa
供電電源：一體型DC24V,分體型AC220V
輸出信號：4～20mA（負載<500Ω） RS485
管道材質：碳鋼、不銹鋼、鑄鐵、塑料等
顯示：一體型：8位字段式加24位提示符；分體型；漢字顯示
顯示內容：質量流量、標況體積流量、累積流量、標準時間、累積運行時間等。
分體轉換器外形：壁掛式：213×185×107mm；盤裝式：160×80×160mm
分體轉換器與傳感器距離<25m
分體轉換器防護等級：壁掛式：IP65；盤裝式：IP52
傳感器材質：插入式：不銹鋼；管段式：不銹鋼、碳鋼
傳感器防護等級：IP67
防爆等級：EXd Ⅱ CT3
四、一體式熱式氣體質量流量計
一體式熱式氣體質量流量計分為插入式和管段式